デバイス >
多元スパッタ装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 北海道大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 電子科学研究所 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アルバック |
| 型番 | QAM-4-ST |
| 設備名称 | 多元スパッタ装置 |
| 装置スペック |
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