その他分析装置 >
触針式プロファイラー（段差計）
学内学外とも共用
| 設置機関 | 北海道大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 情報科学研究院 |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | KLA-Tencor |
| 型番 | Alpha-Step D-500 |
| 設備名称 | 触針式プロファイラー（段差計） |
| 装置スペック |
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