X線回折 >
超精密格子定数測定用Ｘ線回折装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 電気通信研究所 |
| 設備分類 | X線回折 > |
| 製造元 | リガク |
| 型番 | SuperLab |
| 設備名称 | 超精密格子定数測定用Ｘ線回折装置 |
| 装置スペック | ・薄膜試料の結晶構造解析 ・最小精度0.00002oのゴニオメータを有するので、超精密なX線回折測定が可能。 ・数nmの極薄膜の結晶構造を測定できる面内方位X線回折測定(In-Plane XRD)に対応。 ・X線反射率測定(XRR)に対応し、有機/無機、結晶/非結晶を問わず、膜厚・密度解析が可能。 ・測定室内を恒温管理しており、試料や分光結晶などの温度もモニタリング可能。 ・その他にも、逆格子マッピング測定や極点図測定、微小角入射小角散乱測定(GI-SAXS)に対応。 |
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