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X線回折 >

設置機関	東北大学
研究科・学部	電気通信研究所
設備分類	X線回折 >
製造元	PANalytical/Spectris(Philips Analytical)
型番	X`Pert PRP MRD
設備名称	高分解能Ｘ線回折装置
装置スペック	・薄膜試料の結晶構造解析・2次元検出器を用いた高速なX線回折測定や逆格子マッピング測定が可能。・逆格子マッピング測定では、エピタキシャル試料などの格子定数の違いを視覚化。・X線反射率測定(XRR)に対応し、有機/無機、結晶/非結晶を問わず、膜厚・密度解析が可能。・圧延した試料などの極点図測定が可能で、結晶方位解析にも対応。・25oCから900oCまで制御可能な高温ステージを有しており、試料の相転移などを測定可能。

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