電子ビーム蛍光X線元素分析装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 電気通信研究所 |
| 設備分類 | 表面分析 > EPMA |
| 製造元 | 日立 |
| 型番 | 電子ビーム蛍光X線元素分析装置(EPMA) SU6600 |
| 設備名称 | 電子ビーム蛍光X線元素分析装置 |
| 装置スペック | 電子銃 ：ZrO/Wショットキー型 分解能：1.2nm 最大加速電圧： 30kV 分析装置：EDX, WDX, EBSD（Oxford Instruments製） |
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