多種試料観察用走査電子顕微鏡システム
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 産学連携先端材料研究開発センター |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JSM-7800F |
| 設備名称 | 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム |
| 装置スペック | ・ インレンズショットキーPlus電子銃と超高分解能ジェントルビームの採用で低加速電圧の分析向上が図られた。 ・ スーパーハイブリッドレンズの採用で、超高分解能観察と磁性材料観察、ＥＢＳＤ解析に最適なビームを照射できる。 ・ 4種類の電子検出器とエネルギーフィルタを用いて各種の電子像を分離して検出できる。 ・ 低真空モードで非導電性試料の観察を実現。 ・ 大気非暴露冷却イオン断面装置との連携するトランスファーベッセルを実装。 ・ 分解能： 0.8nm（15ｋＶ） ・ 加速電圧： 0.01kV～30kV ・ 試料照射電流： PA～200nA ・ 倍率： ×25～×1,000,000 ・ 検出器： エネルギー分散型Ｘ線分析装置、結晶方位解析装置、反射電子検出器、上方二次電子検出器 ・ 低真空モード： 10～300Ｐａ |
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