多種試料観察用走査電子顕微鏡システム（クロスセクションポリッシング）
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 産学連携先端材料研究開発センター |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | クロスセクションポリッシャ,日本電子 |
| 型番 | IB-09020 CP |
| 設備名称 | 多種試料観察用走査電子顕微鏡システム（クロスセクションポリッシング） |
| 装置スペック | ・イオン加速電圧： ２～６ｋV ・イオンビーム径： 500μ以上 ・最大搭載試料サイズ： 11mm（幅）×10mm（長さ）×2ｍｍ（厚さ） ・－120℃以下にサンプルを冷却可能 ・試料が、SEM/GB/CP間を大気非暴露で移送できるベッセルを実装 |
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