デバイス >
ウェットベンチ(無機用・メタル専用)
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来科学技術共同研究センター |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 日立プラント |
| 型番 | HNCD-4-SL #3 |
| 設備名称 | ウェットベンチ(無機用・メタル専用) |
| 装置スペック | ・材料問わず使用可（重金属は要相談） ・無機薬品の使用可（硫酸、硝酸、フッ酸、塩酸、過酸化水素水、アンモニア水、等）。 ・超純水、オゾン水、水素水の使用可。 ・小片から8インチウェハまで対応可。 |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。