走査型電子顕微鏡・結晶方位解析（FE-SEM/EBSD)
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 工学研究科（本部） |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JSM-7100F |
| 設備名称 | 走査型電子顕微鏡・結晶方位解析（FE-SEM/EBSD) |
| 装置スペック | 加速電圧：1-30 kV 分解能：1.2nm (@30kV), 3.0nm (@1kV) 電子銃：ショットキー電子銃（Thermal） 観察モード：二次電子、反射電子、結晶方位マップ（IPF, IQ, G.B.マップ） 付属装置：エネルギー分散型X線分光器（EDX-SDD） 反射電子検出器 結晶方位解析装置（EBSD） |
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