デバイス >
パーティクル検査装置A
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来科学技術共同研究センター |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | トプコン |
| 型番 | WM2500 |
| 設備名称 | パーティクル検査装置A |
| 装置スペック | Φ200mm専用 |
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