FE-SEM
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来科学技術共同研究センター |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JSM-6700F |
| 設備名称 | FE-SEM |
| 装置スペック | 分解能 1.0 nm 加速電圧 0.5～30kV 倍率 ×25～650,000 試料寸法 150mmφ 試料移動 X方向：70mm Y方向：50mm （モータ駆動/手動可能） Z方向：1.5～25mm、傾斜：－5゜～60° 回転：360°エンドレス（モータ駆動） |
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