設置機関 | 東北大学 |
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研究科・学部 | 工学研究科(本部) |
設備分類 | 顕微鏡 > 走査プローブ顕微鏡 |
製造元 | 日立ハイテクサイエンス(エスアイアイ・ナノテクノロジー) |
型番 | NanoNaviReal |
設備名称 | 走査型プローブ顕微鏡システム |
装置スペック | 測定モード:AFM, FFM, DFM, SSRM, Current (Nano, Pico) 検出方法:自己検知方式、光てこ方式 分解能:X, Y:10 nm以下、Z:0.5 nm以下 |
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