分析走査電子顕微鏡
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 金属材料研究所 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JSM-6610A（OIM結晶方位解析装置含む） |
| 設備名称 | 分析走査電子顕微鏡 |
| 装置スペック | ・分解能：高真空モード 3.0 nm（30 kV）,8 nm（3 kV）,15 nm（1 kV） ・倍率：×5 ～×300,000（画像サイズ128 mm×96 mmにて） ・加速電圧：0.3 kV ～30 kV |
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