設置機関 | 東北大学 |
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研究科・学部 | 未来科学技術共同研究センター |
設備分類 | その他分析装置 > |
製造元 | ミツトヨ |
型番 | SV-3100S4 |
設備名称 | 表面粗さ測定機 |
装置スペック | 測定範囲 X軸:100mm、Z1軸:800μm、80μm、8μm、Z2軸(コラム移動範囲):300? 分解能 X軸 : 50nm Z1軸(検出部):10nm(800μmレンジ)、1nm(80μmレンジ)、0.1nm(8μmレンジ) Z2軸(コラム):1μm サンプル:高さ上限:300mm、重量上限:15kg |
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