形状解析レーザ顕微鏡
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 材料科学高等研究所 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 光学顕微鏡 |
| 製造元 | キーエンス |
| 型番 | VK-X1100/1000SP2606 |
| 設備名称 | 形状解析レーザ顕微鏡 |
| 装置スペック | レーザー光源：紫色半導体レーザ404nm 倍率：～28800倍 高さ測定表示分解能：0.5nm 幅測定表示分解能：1nm 手動ステージ：70mm×70mm(XY)、72mm(Z) |
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