デバイス >
真空定温乾燥機
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 電気通信研究所 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ヤマト科学 |
| 型番 | ADP300 |
| 設備名称 | 真空定温乾燥機 |
| 装置スペック | フォトリソグラフィプロセス全般（レジ+K268:K282スト塗布、ベーキング、現像、パターン確認） |
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