分光エリプソ（Si室）
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 電気通信研究所 |
| 設備分類 | 分光計 > エリプソメータ |
| 製造元 | 大塚電子 |
| 型番 | FE-5000 |
| 設備名称 | 分光エリプソ（Si室） |
| 装置スペック | 光源Xeランプ。波長250～800nm。反射／入射角45～90°。標準試料サイズ6”角。 |
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