ワイドレンジナノ形状測定システム（Si室）
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 電気通信研究所 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 光学顕微鏡 |
| 製造元 | 島津製作所 |
| 型番 | FT-3500 |
| 設備名称 | ワイドレンジナノ形状測定システム（Si室） |
| 装置スペック | 紫外レーザ顕微鏡、波長408nm。最大光学ズーム倍率6倍。観察視野21～560nm。最大ピクセル分解能21nm。 |
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