デバイス >
マスクアライナー（3FCR）
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 電気通信研究所 |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | SUSS MicroTec |
| 型番 | MJB4 |
| 設備名称 | マスクアライナー（3FCR） |
| 装置スペック | ● 用途 集積回路試作用フォトレジストパターンの形成 ● 性能 基板サイズ: 5mm角から最大4inch角 マスクサイズ: 2inch角から最大5inch角 紫外線露光照度: 80mW/cm2 露光分解能: 0.8μmライン/スペース (バキュームコンタクト時) |
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