レーザー共焦点顕微鏡（Lasertec）
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 電気通信研究所 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 光学顕微鏡 |
| 製造元 | レーザーテック |
| 型番 | H1200 |
| 設備名称 | レーザー共焦点顕微鏡（Lasertec） |
| 装置スペック | ・RGB3CCD素子の2048×2048画素、計1200万画素によるリアルカラーコンフォーカル画像 ・多層3D、形状測定、粗さ測定、膜厚測定、パッチワークなど豊富なソフトウェア機能 ・X、Y寸法測定再現性 0.02μm(3σ)、Z測定機能 0.02μm (σ) ・干渉測定機能(オプション)の付加により垂直分解能0.1nm ・RGB測定波長の選択機能(1スキャンでRGB3つの測定データを同時取得) ・可変フレーム機能(Variable Frame Rate)による最速120フレーム/secの走査速度 |
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