集束イオンビーム加工観察装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 金属材料研究所 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 日立ハイテク |
| 型番 | FB2100 |
| 設備名称 | 集束イオンビーム加工観察装置 |
| 装置スペック | 最大電流密度： 50 A/cm 加速電圧：2-40kV 日立 HF-2000 形 電解放射形電子顕微鏡ステージ使用可 |
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