超高分解能電界放出形インレンズ走査電子顕微鏡
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 理学研究科 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立 |
| 型番 | S-5500形 |
| 設備名称 | 超高分解能電界放出形インレンズ走査電子顕微鏡 |
| 装置スペック | 二次電子像分解能 （高加速電圧30 kV） 0.4 nm （低加速電圧1 kV） 1.6 nm 加速電圧 0.5～30 kV 倍率 ×60～×2,000,000 最大試料サイズ 平面 5.0mm×9.5mm×3.5mmH |
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