全反射蛍光X線ウェーハ表面分析装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来科学技術共同研究センター |
| 設備分類 | 元素分析 > 蛍光X線分析 |
| 製造元 | - |
| 型番 | TREX 610 |
| 設備名称 | 全反射蛍光X線ウェーハ表面分析装置 |
| 装置スペック | 20mm四角のチップから200mmφウェハまで対応。 X線は、W線源、Mo線源を選択可能。 |
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