電顕用イオンミリング加工装置
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 工学研究科（本部） |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 日本電子 GATAN |
| 型番 | PIPS691 |
| 設備名称 | 電顕用イオンミリング加工装置 |
| 装置スペック | 電顕イオンミリング加工 TEM観察用の薄片化最終工程・SEM観察用表面仕上げ |
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