FE-SEM/EDS
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 材料科学高等研究所 |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JSM7800, Oxford X-Max |
| 設備名称 | FE-SEM/EDS |
| 装置スペック | 倍率：25 - 1,000,000 加速電圧：0.01 - 30kV 電子銃：インレンズ型ショットキー電界放出型電子銃 対物レンズ：スーパーハイブリッドレンズ（セミインレンズタイプ） 検出器：下方検出器 (LED)、上方検出器 (UED)、上方二次電子検出器 (USD)、反射電子検出器 (SRBE)、透過電子検出器 (TEM) エネルギー分散型X線分光器 (EDS/EDX)：Oxford Instruments, X-Max SDD Detector その他オプション：Arイオンビームクリーナー、Ptコーター、カーボンコーター |
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