卓上走査電子顕微鏡
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 学術資源研究公開センター |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JCM-7000(EDS,ステージナビゲーションシステム含む) |
| 設備名称 | 卓上走査電子顕微鏡 |
| 装置スペック | 写真倍率 ×10 ～ 100,000（128 mm × 96 mm を表示サイズとして倍率を規定） 表示倍率 ×24 ～ 202,168(280 mm × 210 mm を表示サイズとして倍率を規定） 画像モード 高真空モード：二次電子像、反射電子像（組成、凹凸、立体、３D） 低真空モード：反射電子像（組成、凹凸、立体、３D） 加速電圧 5 kV、10 kV、15 kV（3 段） 電子銃 タングステンフィラメント・ウェーネルト一体型グリッド 試料ステージ X-Y モーター駆動ステージ X : 40 mm Y : 40 mm 最大試料寸法 80 mm 径 50 mm 高 試料交換 ステージ引出し式 画素数 640 × 480､1,280 × 960、2,560 × 1,920、5,120 × 3,840 自動機能 アライメント調整、フォーカス、非点、露出調整 計測機能 2 点間測定、角度測定、線幅測定 ファイル形式 BMP、TIFF、JPEG、PNG コンピューター デスクトップPC OS Windows? 10 モニター 24 型 排気系 完全自動、TMP: 1 台、RP: 1 台 |
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