微細表面構造計測顕微鏡
学内学外とも共用
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | 未来科学技術共同研究センター |
| 設備分類 | 顕微鏡 > その他 |
| 製造元 | 島津製作所 |
| 型番 | SFT-3500 |
| 設備名称 | 微細表面構造計測顕微鏡 |
| 装置スペック | ・広い視野をもつ光学顕微鏡と、レーザー顕微鏡（LSM）およびプローブ顕微鏡（SPM）を一体化させることにより、試料を同じ光軸上で数百倍から百万倍以上に拡大させ、見たいところを見失うことなく、ミリからナノの世界を自由に行き来して効率的に観察・測定することができる。 レーザー顕微鏡（LSM）部 光源：半導体レーザー（408±5nm）、0.9mW 検鏡方法：非共焦点レーザー、共焦点レーザー、レーザー微分干渉、明視野、暗視野 観察視野：2560μm～21μm プローブ顕微鏡（SPM）部 光源：半導体レーザー（650nm） 変位検出系：光てこ式 最大走査範囲：XY方向３０μm、Z方向4μm サンプル 高さ上限：54.5mm、重量上限：10kg |
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