デバイス >
i線ステッパ (i-line stepper)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | キヤノン (Canon) |
| 型番 | FPA-3030i5+ |
| 設備名称 | i線ステッパ (i-line stepper) |
| 装置スペック | サンプルサイズ：小片～8インチ 対応オリフラ(OF)：4と6インチはOF(JEITA/SEMI)、8インチはノッチ カセットtoカセット 波長：365nm 最小露光線幅：0.35μm以下 重ね合せ精度 ：40nm レチクル：6インチ（6025） 両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応 |
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