デバイス >
中電流イオン注入装置 (Middle-current ion implanter)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 日新イオン機器 (Nissin) |
| 型番 | NH-20SR |
| 設備名称 | 中電流イオン注入装置 (Middle-current ion implanter) |
| 装置スペック | サンプルサイズ：小片～4インチ カセットtoカセット 加速電圧：～160kV 最大電流：0.6mA |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。