デバイス >
自動搬送 芝浦スパッタ装置 (Automatic Shibaura sputtering)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 芝浦メカトロニクス (Shibaura Mechatronics) |
| 型番 | !-Miller CFS-4EP-LL |
| 設備名称 | 自動搬送 芝浦スパッタ装置 (Automatic Shibaura sputtering) |
| 装置スペック | サンプルサイズ：小片～8インチ サンプルステージ：直径220mm 基板温度：室温～300℃ 電源：RF×1 ターゲット：3インチ×4 方式：スパッタSIDE 到達真空度：8E-5Pa |
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