デバイス >
DeepRIE装置#3 (DeepRIE #3)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | STS (STS) |
| 型番 | Multiplex-ICP SR |
| 設備名称 | DeepRIE装置#3 (DeepRIE #3) |
| 装置スペック | サンプルサイズ：6インチ、または、4インチ(小片～6または4インチ) 基板固定方式：メカニカルチャック プラズマ方式：ICP ガス：SF6、C4F8、CHF3、Ar、O2 メタルマスク（Al、Crなど）可 |
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