デバイス >
DeepRIE装置#4 (DeepRIE #4)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
| 型番 | MUC-21 ASE-HR |
| 設備名称 | DeepRIE装置#4 (DeepRIE #4) |
| 装置スペック | サンプルサイズ：8インチ、または、4インチ 基板固定方式：静電チャック(8)、メカニカルチャック(4) プラズマ方式：ICP ガス：SF6、C4F8、Ar、O2 メタルマスク（Al、Crなど）不可 |
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