デバイス >
アルバック多用途RIE装置 (Ulvac RIE)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | アルバック (Ulvac) |
| 型番 | RIH-1515Z |
| 設備名称 | アルバック多用途RIE装置 (Ulvac RIE) |
| 装置スペック | サンプルサイズ：小片～300mm角 ロードロックは6インチまで 基板固定方式：静置（温度制御不可） プラズマ方式：CCP ガス：Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、Ar、N2、O2 |
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