設置機関 | 東北大学 |
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研究科・学部 | |
設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
製造元 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
型番 | S-5500 |
設備名称 | 低加速高分解能走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope) |
装置スペック | ・加速電圧 0.1 kV~30 kV FE電子銃 ・二次電子像分解能 0.4/1.3 nm (30/1 kV) |
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