集束イオンビーム加工装置 (Dual-Beam FIB System )
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.) |
| 型番 | Quanta 3D |
| 設備名称 | 集束イオンビーム加工装置 (Dual-Beam FIB System ) |
| 装置スペック | ・加速電圧 1 kV～30 kV W電子銃 ・加速電圧 5 kV～30 kV Gaイオン銃 ・保護膜形成 W蒸着・C蒸着 |
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