プラズマ集束イオンビーム加工装置
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東北大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | 東洋テクニカ |
| 型番 | TESCAN Amber-X |
| 設備名称 | プラズマ集束イオンビーム加工装置 |
| 装置スペック | ・SEM: 加速電圧 0.5 kV～30 kV 高輝度ショットキー電子銃 ・FIB: 加速電圧 1 kV～30 kV Xeイオン銃、1pA-3μA ・保護膜形成 Pt蒸着・C蒸着 ・ロッキングステージ、姿勢制御マニピュレータ（OptiLift） ・シリアルセクショニング ・分析機能：EDS、SIMS |
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