卓上走査型電子顕微鏡装置群 (Tabletop scanning electron microscope (SEM))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | Miniscope TM4000PlusII Miniscope TM3000 |
| 設備名称 | 卓上走査型電子顕微鏡装置群 (Tabletop scanning electron microscope (SEM)) |
| 装置スペック | 【TM4000PlusII】・倍率：10倍~10万倍・加速電圧 : 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV・画像信号 : 反射電子, 二次電子・真空モード：導電体（反射電子のみ）、標準、帯電軽減・EDX：あり【TM3000】・倍率：15倍～3万倍・加速電圧 : 5 kV、15 kV・画像信号 : 反射電子のみ・観察モード：通常、帯電軽減・EDX：あり |
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