硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS）
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > XPS |
| 製造元 | アルバック・ファイ(株) (ULVAC-PHI) |
| 型番 | Quantes |
| 設備名称 | 硬X線光電子分光分析装置（HAX-PES/XPS） |
| 装置スペック | ・軟 X 線 (Al Kα) と硬 X 線 (Cr Kα) の２つの X 線源を有し、前者で試料最表面、後者で試料内部・界面の電子状態の観測が可能。 ・電圧印可下での電子状態変化の観測が可能。 ・温度制御範囲：90～870 K。 |
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