飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time-of-flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > SIMS |
| 製造元 | アルバック・ファイ(株) (ULVAC-PHI) |
| 型番 | PHI TRIFT V nanoTOF |
| 設備名称 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time-of-flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS)) |
| 装置スペック | ・全二次イオンの同時測定が可能 ・二次イオン・イメージング法：投影モード、操作モード ・Biクラスター・イオン・ビーム搭載 |
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