電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 (Field Emission Electron Probe Micro-Analyzer (FE-EPMA))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > EPMA |
| 製造元 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-8500F |
| 設備名称 | 電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 (Field Emission Electron Probe Micro-Analyzer (FE-EPMA)) |
| 装置スペック | ・電界放出形電子銃 ・加速電圧：1～30 kV ・照射電流：10 pA ～500 nA ・測定可能元素：Be～U ・最大試料サイズ：100 x 100 x 20 mm |
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