走査型オージェ電子分光分析装置 (Scanning Auger Electron Microprobe (CHA Type AES))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 表面分析 > AES |
| 製造元 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JAMP-9500F |
| 設備名称 | 走査型オージェ電子分光分析装置 (Scanning Auger Electron Microprobe (CHA Type AES)) |
| 装置スペック | ・ショットキー電界放射電子銃 ・空間分解能：<8 nm ・加速電圧：0.5～30 kV ・照射電流：0.1～100 nA ・測定元素：Li～U ・最大試料サイズ：14 x 14 x 5 mm ・半球型アナライザー搭載 |
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