ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JSM-7001F |
| 設備名称 | ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡 |
| 装置スペック | ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.2 nm （加速電圧30 kV）、3.0 nm （加速電圧1 kV） ・倍率：10～1百万倍 ・最大試料サイズ：φ100 mm ・反射電子検出器搭載 ・加熱ステージ（最高1000℃） ・EDS付属（JED-2300） ・EBSD：TSL OIM ・格子歪み測定プログラムCrossCourt Ver.3、Ver.4+ |
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