電界放出形走査電子顕微鏡
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテク |
| 型番 | SU-8000 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡 |
| 装置スペック | ・対物レンズ：セミインレンズ型 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.0 nm（加速電圧15 kV）、1.4 nm（リターディングモード：照射電圧1 kV） ・倍率：20～80万倍 ・反射電子検出器搭載 ・STEM（BF）検出器搭載 ・EDS付属（Bluker FlatQUAD） |
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