電界放出形走査電子顕微鏡
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JSM-6500F |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡 |
| 装置スペック | ・電界放出形電子銃 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.5 nm（加速電圧15 kV）、 5.0 nm（加速電圧1 kV） ・倍率：10～50万倍 ・最大試料サイズ：φ100 mm ・反射電子検出器搭載 ・EDS付属（JED-2300） エネルギー分解能：133 eV以下 検出可能元素：B～U |
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