走査電子顕微鏡
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日本電子 |
| 型番 | JSM-6510 |
| 設備名称 | 走査電子顕微鏡 |
| 装置スペック | ・Wフィラメント電子銃 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子分解能：3.0 nm（加速電圧30 kV）、 8.0 nm (加速電圧3 kV）、 15.0 nm（加速電圧1 kV） ・倍率：5～30万倍 ・最大試料サイズ：φ150 mm ・操作ナビ画面にナビゲーション表示 ・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能 |
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