微細組織3次元マルチスケール解析装置 (Orthogonal FIB-SEM)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 透過電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SMF-1000 |
| 設備名称 | 微細組織3次元マルチスケール解析装置 (Orthogonal FIB-SEM) |
| 装置スペック | 最高1nmピッチで制御可能で，加工と観察を繰り返すこと(シリアルセクショニング)で3D像再構築が可能．更にEBSDを併用した3D-EBSDやTEM試料作製も対応可能． ・SEM：ZEISS Gemini ・EDS：EDAX ・EBSD：EDAX TSL Hikari ・Ar-ion gun ・Depo. gas：Carbon |
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