無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 (Damage-less TEM specimen milling apparatus)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | フィッシオーネ (Fischione) |
| 型番 | Model 1040 Nanomill |
| 設備名称 | 無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 (Damage-less TEM specimen milling apparatus) |
| 装置スペック | ・イオン：アルゴン ・イオンエネルギー：50～2000eV 可変 ・イオン電流：1mA/cm2 ・イオンビームサイズ：2μm |
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