セラミックス試料作製装置群 (Ceramics sample preparation facilities)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 試料加工装置 |
| 製造元 | ガタン 日立ハイテク 真空デバイス マルトー TECHNOORG-LINDA |
| 型番 | 695PIPS II 他 |
| 設備名称 | セラミックス試料作製装置群 (Ceramics sample preparation facilities) |
| 装置スペック | ・精密イオン研磨装置：イオンビームエネルギー: 0.1～8 keV、試料冷却が可能、観察用デジタルズームカメラ付属 ・ディンプルグラインダ：研磨ホイール径 15 mm、研磨荷重 0～40 g、自動停止機構付属 ・卓上SEM：加速電圧：5－20kV、二次電子検出器および反射電子検出器 ・マルチコーター：蒸着、イオンスパッタ、親水化処理 ・卓上研磨機：研磨回転数 50～500 rpm ・小型精密切断器：50mmダイヤモンド回転刃 |
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