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マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ナノシステムソリューションズ (Nanosystem Solutions) |
| 型番 | DL-1000 / NC2P |
| 設備名称 | マスクレス露光装置 [DL-1000/NC2P] |
| 装置スペック | ・用途：高速マスクレスパターニング ・光源：405nm 半導体レーザー（h線） ・照度：10W/cm2 ・位置決め精度：500nm 以下 ・重ね合わせ精度：500nm 以下 ・最大試料サイズ：8インチ角 ・その他：グレースケール露光，スキャニング露光，自動／手動アライメント機能 |
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