デバイス >
UVオゾンクリーナー [UV-1]
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | サムコ (samco) |
| 型番 | UV-1 |
| 設備名称 | UVオゾンクリーナー [UV-1] |
| 装置スペック | ・用途：基板クリーニング，表面改質 ・光源：紫外線ランプ （184.9nmおよび253.7nm） ・オゾンジェネレータ：無声放電方式高濃度オゾナイザー ・ステージ温度：室温～300度 ・最大試料サイズ：φ8 inch |
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